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第二百九十八章 国产光刻机提上日程阿麦斯断供（第3页）

只是这一天，比他想象中来的早，仅仅不到一年功夫，就能让幕后的黑手动用自身影响力，不惜损害阿麦斯的核心利益，也要钳制山海微电的发展。

显然山海微电的存在，挡住了某些人财路。

“玩就玩，到时候别后悔就行。”

陈河宇冷笑一声。

第一点、euv光源系统，国内有家工艺水平处于中等的企业，名字叫科隆虹源，拥有可靠性极高的深紫外光源专利，虽然掌握的波段太长，主要集中在213n波段及266n波段，不足以制造精密的光刻机。

但拥有系统这个bug存在啊，去年他派人沟通交流过，对方拒绝了收购要求，于是退而求其次，挖走不少核心工程师，引来科隆虹源的老板直骂娘。

不管怎么说，euv光源问题算是初步解决了。

第二点、高精度弧形反射镜系统，由弯曲的镜面、支撑结构和调整机构组成，燕城有一家九鼎的光学公司，积累了十多年经验，在周啸羽的说服下，成为山海微电旗下的全资子公司。

接收完所有技术文档，陈河宇加以提纯优化，水平并不输于漂亮国的zygo和rng光学巨头。

第三点、超高精度真空双工件台，是一种用于在真空环境中进行高精度加工和测量的装置。

通常由两个工件台和一个真空室组成，在真空状态下对硅晶圆进行精密的定位、加工和测量。

杭城一家公司具备良好的技术底蕴，在陈河宇抛出橄榄枝后，立马响应，加入了山海微电的怀抱。

毕竟，这可是华国半导体行业的领头羊，年营收高达2000多亿华币，有山海微电的资金加持，华风科技才能走得更远，所以没有多加犹豫，便在周啸羽的钞票攻势下，顷刻间瓦解。

原有的高精真空双工件台解决方案，在陈河宇的推动下，也开始向世界一流水平迈进。

换言之，山海微电具备制造euv光刻机的理论实力，只是没有付诸实践。

想到这里，陈河宇交代何婷波，先用子公司的名义，悄悄采购光刻机所需的各种零部件和材料，和购买机械加工设备。

nxt1950iduv光刻机至少还能服役两到三年，在7纳米芯片到来时，他若是还不能制造出euv光刻机，就得面临技术全面落后的境遇。

拿duv光刻机和湾积电的euv光刻机拼？没有赢的可能性。

“乖，先下来，我还有工作要忙。”

陈河宇拍了拍温小米的翘臀，微微一笑道。

“喔，那我出去啦。”

温小米略显失望，带着项目书，整理好裙摆，走出他的办公室。

陈河宇握着手机，默然思考，半晌后，他想清楚了解决思路，立马拨出一个电话。

“喂，柳秘，是我，能不能把电话转接给孟老？”

他开门见山道。

“出什么大事了？”

柳秘书刚想寒暄，听到这句话时，笑意瞬间收敛，沉声问道。

“阿麦斯的内部消息，从2017年，山海微电将无法从对方手里，购买先进的euv光刻机设备，甚至连duv光刻机的路子也堵死了。”

陈河宇闷声道。

“你有什么打算？”

柳秘书问道。

“呵呵，当然要干回去，阿麦斯既然不想卖，我也不为难他，以后别想在大华区拓展业务。”

陈河宇冷峻道。

“稍等，我得联系一下孟老的助理，看看这个点有没有时间。”

说罢，柳秘书挂断了电话。

陈河宇重重呼出一口浊气，原以为horae20的上线，可以让国外的半导体巨头投鼠忌器，欣然接纳山海微电崛起的事实，却没想到还是等来了设备封锁。

看来，自研之路必须开启！

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