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不出他所料,唐少辉接下来的话证实了他的猜想:“本着你说的什么路子都要试一试看一看的想法,反正都泼上去了,我们在显微镜下观察了这些硅片的表面,发现一个非常让人惊喜的现象,在这硅片被蚀刻出了一个一个的小孔,非常小的那种,虽然分布和总体质量、均匀性什么的达不到要求,但是尺度大概和工艺需要的尺度量级范围差不多。”
嗯?氢氟酸本来就是蚀刻硅片的,理论上除了多晶晶界不均匀造成的不均匀蚀刻,其他地方应该反应速度是基本一致的,为什么含银离子的硅片会出现一个个尺度极小的小孔?
高振东非常敏锐的意识到了唐少辉所说的现象,正好,最近他在研究最多的,就是有机物的合成,虽然是有机化学,唐少辉说的这事儿是无机化学,但是其中有些东西,却是相通的。
高振东那个被强化过的脑子那多好使啊,马上就结合自己最近的工作,都会抢答了:“是一个个尺度极小的小孔?催化反应?”
高振东这两句话极为简短,但是却让唐少辉惊为天人。
“啊?你这就猜到了?高总工,你真是太厉害了!”
唐少辉这话,和拍马屁没有半毛钱关系,他是真的打心底里佩服高振东,人家过程不知道,结果不知道,但是就靠自己一点点描述,就一下子抓住了问题的核心,而且还是在一个理论上说起来,他的陌生领域。
某化工院的向总:其实吧,他对这个也不太陌生。
“您说对了,就是催化!
我们也找相关专业的老师研究过,有现象,他们倒推原理就方便很多。
在这个情况下银离子是氢氟酸与硅片反应的催化剂,银离子形成与硅的电解通道,还原得到银,并且将硅氧化得到二氧化硅,而二氧化硅与氢氟酸的反应比硅与氢氟酸的反应要快得多,就形成了孔。
并且此时,被还原的银会在硅片表面下沉,进一步挖出孔来!
就成了一个个小孔!
虽然尺度还有些不足,但是已经非常接近我们的目标了。”
唐少辉说起来有些复杂,但是高振东是听懂了的,用一个比较形象的比喻,就好像在冰面上撒一大堆炽热的铁球,那这些铁球就会向下沉在冰面上烧出一个个孔来,只是铁球下沉的原因,是物理原因,而这些银下沉的原因,是化学原因,或者说是电化学原因。
“太好了!
你们找到了一个新的工艺方向。”
高振东非常高兴。
虽然孔的尺度有问题,但是至少这是一个方向。
见高振东高度评价这个发现,唐少辉也很高兴:“我们和学校搞化学的教授一起,想办法先在硅片上均匀沉积银离子,在反应开始后一段时间,去除这些银离子和单质银,再用氢氟酸加硝酸的混合液去腐蚀扩大这些孔,最终基本上算是得到了我们需要的织构体,而且成本大大降低,工艺也简单,对设备的要求也低。”
如此一来,蚀刻的孔洞的尺寸,是由反应时间控制的,简单得多。
照相平板印刷是要考虑对织构体的尺寸控制的,对设备要求不低,但是唐少辉说的这种办法,原则上孔的尺寸是由化学工艺控制,和设备的关系就不大了。
高振东忍不住拍了拍唐少辉的肩膀:“干得漂亮!
你们这个办法,理论上只需要反应槽就行,都不需要什么太特殊的设备。
对设备、工艺的要求简直是压缩到了无以复加的地步!”
唐少辉也笑,高总工一下子就说到点子上了,这种办法的核心设备,还真是简单到一个反应槽就行,当然实际上并没有那么简单,不过比起照相平板印刷和激光雕刻,那真是一个天上一个地下。
不过他没有笑太久。
“不过现在依然有问题,理论上是走通了,但是作为量产不行,我们也在考虑解决这个问题,但是到现在还没能解决,制作出来的绒面,质量不稳定,有批次的好有的批次坏,有的区域好有的区域坏,总之就是没法稳定的量产。”
对于这个,高振东就没那么担心,慢慢来呗,相信同志,至少他们大方向找对了。
“没关系,原理走通了就好办了,总有办法的。
多晶硅制绒这个事情,就按照你们找到的这条路子去改,这个路子的前景要好得多,不要怕慢,有什么问题我担着。”
高振东马上胸脯一拍,肩膀一挺,把责任给扛住了,多晶硅不上天,是普及型用的,有的是时间慢慢打磨,成本越低越好。
高振东拍着胸脯扛责任的做法,让唐少辉非常舒服,带头人拿来干嘛的?解决问题、扛住问题,而高总工在这两方面,做得让他们课题组的人心服口服。
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