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第645章 郑通元详说光刻机国泰摸到门了（第1页）

（本章主要讲述国产光刻机的曾经光辉历程，以示以往的艰辛和国人智慧。恐有不信者，占用一个章节以述。不喜者可直接略过）

“国泰兄弟你居然也知道光刻机？这个行业非常冷门。别说一般人，甚至就连很多官员领导都不知道。”

郑通元被陈国泰的激烈反应吓了一跳，随即满脸惊奇地说道。

“我当然知道。郑大哥，我的专业是机械制造，所以我一直都在关注机械制造的发展前沿状况......从1959年漂亮国人研究出世界上第一台五轴联动加工机器开始到现在，机械制造往智能控制发展的苗头趋势已经越来越明显。你说我能不关注与工控芯片直接相关的光刻机吗？”

陈国泰脑瓜子一转，立即解释道。

“这个倒也是哈。我国从52年研究成功第一台数控机床开始，对工控芯片的需求就越来越旺盛，要求的芯片性能也在不断提升......国防工业对芯片的需求也与日俱增供不应求......”

郑通元释然地点了点头，很自然地讲述了起来。

陈国泰立即凝神听取，不愿错过任何一个字。

这些知识都是他知识储备库里没有的。

“......1971年之前，因为西方世界对我们的严密封锁，我们所有的工控芯片都是靠着一大群技艺精湛的八级钳工用手工进行制作。这种制作方式虽然让我们的芯片制程基本达到当时10微米（一毫米等于一千微米。一微米等于一千纳米）级别的世界主流水平，但是也有着非常巨大的缺陷......”

郑通元满脸感慨地提到了一个关键时间点：1971年。

听讲的陈国泰更加打起了精神。

“......这个缺陷就是产量极低且良品率极其低下。耗费了巨量人力物力制作出来的极少量合格芯片，只能用在最为急需的导弹、卫星、火箭以及极少数最为重要的加工设备上面......70年前后，国家为了妥善解决这个问题，终于下定决心集中人力和物力，研究我们自己的光刻机。说起这事，就不得不提到徐瑞林（此为化名。但的确有这么一个英雄人物）徐总工。当时上面紧急调回已经下放下去‘学种水稻’的徐总工，让他在清大里面紧急组建攻关团队......”

提起徐总工这个人，郑通元脸上不由自主地露出了深深敬仰之色。

“徐瑞林？清大？郑大哥，你要说的，是不是咱们清大那个精密仪器系于1971年在徐瑞林徐总工的带领下研制成功了我国第一台光刻机？”

陈国泰神色一动，忍不住插嘴说道。

“没错，的确是这样。当时徐总工是临危受命......没有任何图纸和设备，就连概念都是模糊不清，一切都是从头开始，就连每一个螺丝都要从头设计制造......又没有任何加班费和奖金......但就算是这样，徐总工带领的团队硬是从无到有，只用了一年多时间，就把光刻机最主要的气体激光器，以及工件台的精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数控计算机，和其它光学系统、大孔径投影物镜等等组件全部研制出来并组装成功......我个人觉得，他们团队的行为比起从头开始搞‘和平工程’的那批伟大科学家都不逊色！”

郑通元讲述到这里，禁不住取下眼镜擦了擦眼角。

“没错啊。他们都是国之脊梁！应该永远被我们的国人和所有后代铭记！”

陈国泰对郑通元提到的人也是肃然起敬，深深叹服。

“......就这样，徐总工团队经过一年多时间的舍命付出，终于在1971年成功研制出我国第一台光刻机和分布重复照相机，并迅速投入规模生产，供应全国半导体行业使用，为民生工业和军事工业持续提供‘心脏’动力......就在去年，那位执政之后非常重视科技，此项成果终于荣获全国科技大会奖。徐总工团队也终于获得了应有的荣誉......这台光刻机也被称为我国第一代光刻机。它让我国的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”

郑通元徐徐吐出一口气，总结说道。

“郑大哥，既然那台光刻机被称为第一代，其实也就意味着有第二代对吧？这方面你能稍微说说吗？”

听得心驰神往的陈国泰深吸了一口气，顺势说道。

“这个......具体的研发过程肯定不能说。不过表面上的大体情况还是可以透露一些......徐总工取得成功之后，并没有就此止步不前。从75年开始，他带领团队采用直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法，投入了对‘自动对准分步投影光刻机’的研究。这项研究被称为第二代光刻机。预计成功之后会让我国的芯片制程突破微米级，正式扣响纳米级的大门。因为它加工的最细线宽能达到零点八微米，也就是800纳米......”

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