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第327章（第2页）

提前了他们实验应该怎么继续下去之后，宋问声就往老潘实验室那边去了。

那边的实验室有很多真空操作设备，精度很高的光学镜片，表面所有的坑洼都会控制在一个非常小的范围之内，甚至不允许有任何一粒灰尘的存在。

即便能够打磨出这样的镜片，还需要强大的工业测量技术作为支撑。

这些都是我们国家现在所不具备的。

要实现上面的要求，工程量是很大的，难度甚至不亚于两弹工程和登月工程。

他一过来，老潘就有些兴奋的和大家介绍，“这是宋问声宋院士，我邀请他过来咱们这里参观指导，你们做自己的。”

大家好奇的眼神在宋问声身上转了一圈，又回去做自己的事情了。

光刻机绝对不是一个小东西，dua光刻机的透镜系统镜片就有四十来块，叠加组合在一起，都有人这么高，更不用说精度更加大的深紫外光刻机。

老潘带他把光学镜头小组都参观过了一遍，还把隔壁的给介绍了一下。

这一个大组是照明系统大组，里面分光学镜头，工作台系统等等。

光是光学镜头里又分大大小小的镜片，比如物镜等等。

现在的镜片材料大部分都是用石英材料，并且光源和镜片之间的联系紧密，光源长时间照射会影响光学材料的性能，光学材料的性能又会制约工作波长的选择。

所以二者之间能选择的余地很小。

现在也很难提出什么新的光学材料，这么紧的工期，基本上没有什么时间要验证。

所以只能在原来的基础上加以改进。

宋问声想了很久，也想不到自己在光学镜片上能够帮助什么，只是看了一些数据，提出了一些建议，建议他们和光刻胶小组合作一下，会有奇效。

其实光源的工作波长，不只是受到光学材料的制约，还有光刻胶，宋问声研发的光刻胶路子很野，和其他的不一样。

可以在193nm的深紫外光下使用，也可以在13.5nm的极紫外光下使用。

而且这款光刻胶还有很多功能急待开发，它的自由性很大，就和碳的四条键一样，可以有无穷的变换。

宋问声在光学镜片这里用不上劲，但是他观察之后发现，他在光源上可以有所改进。

只要光源和光刻胶选择的余地多了，那么光学材料选择的余地是不是多了？

整个下午，宋问声拿着一大沓厚厚的草稿和老潘比划。

老潘听着确实像那么一回事。

他们这些配合研发的，多多少少对需要配合的地方有些了解，看宋问声写出的公式和理论，老潘忽然间觉得，应该就是这样的！

看着宋问声认真的模样，老潘还觉得有些对不起这小老弟，之前还想骗人家过来指点指点，现在看人家是真认真。

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