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第325章（第2页）

他们也很不错，在一个月内，把以前使用的金属氧化物的聚合物光刻胶的精度提高到了可以在65nm-90nm的芯片制造当中使用，当然这里头离不开宋问声的指点。

本来有些小得意的他们，很快又被宋问声打败。

富勒烯衍生物im-mfpt在制程10nm以内表现出了比含酚基的富勒烯光刻胶更好的灵敏度和分辨率、低线宽粗糙度、高耐蚀刻性和工业加工相容性。（1）

而宋问声他们也迅速突破到了精度为5-10nm之内的芯片制造所使用的光刻胶。

作者有话说：

（1）来自于《7nm高分辨率极紫外光刻胶研究新进展》，谭俊玉；

（2）看到新闻说要有3nm的光刻机量产了，我心里一阵着急；

（3）富勒烯量产是个漏洞，我都忘记了，现在只能几句话补回来，前头光刻胶测试的时候忘记提一提中芯国际和芯片流片的问题了，大家忽略吧。

（4）谢谢大家的支持！感谢在2022-08-1823:53:28-2022-08-2020:17:10期间为我投出霸王票或灌溉营养液的小天使哦——

感谢灌溉营养液的小天使：春花秋月何時了10瓶；历史必修5瓶；晓雪3瓶；

非常感谢大家对我的支持，我会继续努力的！

第173章各怀鬼胎

这件事情报到应富华那里，他也不敢相信，马上就站了起来，打算去看看宋问声那里的情况。

他一直没有对光刻胶小组进行太多管教，一个是因为光刻胶研究其实独立在光刻机之外也可以进行，还有一个原因就是上面想再看看宋问声单独带领一个小组做项目会是什么样子。

宋问声已经有过多次组织实验项目的经验，领导一个小组和领导一个课题组对于他来说区别不大，只要他一日是诺奖得主，一日他都带有光环，这些人一日都不敢小瞧他。

他甚至觉得他可以自己开发出一个「震慑」的技能。

上回只是部分工程师来验收成果，这一回是总工程师应富华带队，可想而知应富华对这件事情的看重程度。

来的时候，应富华也没有说什么，只是跟在专业的研究人员后面，看他们验收成果。

验收成果不是一朝一夕，如果是在外面的实验室，可能需要拿去专门的实验室里去验证，但是在这里，不需要。

他们有自己的渠道。

而结果，明天会得出来。

一些基本数据是没有问题的，真刀真枪还是要显露在光刻机上，在芯片上。

应富华拍拍宋问声的肩膀，“宋院士这是状态正佳。”

宋问声谦虚的笑了笑，“之前进行过相关研究，也对后续有些设想，现在能够实现出来，证明我的想法是对的。”

应富华看了看整个光刻胶实验室里的研究员都走出来看他们了，脸上有些微的笑容，不多，转瞬即逝，最后还是端起了威严的架子，“想吃什么想喝什么，和警卫员说，让他们采购，就当做是犒劳了。”

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